יתרונות:
סדרת משאבות זו טובה בביצועים תחת סביבה קשה (טמפרטורה גבוהה, אבק וכו '), יציבה בביצועים ועם חיי שירות ארוכים, ותחזוקה פשוטה ותפעול נוח גם כן.
יישומים:
היישומים העיקריים הם באיתור נזילות תעשייתיות, PVD, CVD, השתלת יונים, ייצור רכיבים אלקטרוניים ואקום, זכוכית נמוכה E, זכוכית ITO, ציפוי אופטי, תאים סולאריים, ריתוך קרן אלקטרונים, תנור ואקום ותעשיות אחרות
מפרטים:
אוגן (ב) | DN400 ISO-K | גז בכל רחבי (sccm) | N2: 5500 |
אוגן (החוצה) KF | DN100 | הוא: 4000 | |
מהירות שאיבה (L/s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
הוא: 2650 | Ar: 2100 | ||
H2: 1280 | מהירות סיבוב (סל"ד) | 13500 | |
Ar: 3200 | זמן ההרצה (דקות) | ≤18 | |
יחס דחיסה | N2: 108 | סוג קירור, סטנדרטי | מים |
הוא: 103 | צריכת מי קירור (ליטר/דקה) | ≥1 | |
H2: 102 | טמפרטורת מי קירור (℃) | ≤25 | |
Ar: 108 | חיבור לחשמל: מתח (V AC) | DC24/AC220 | |
לחץ מוגבר (Pa) | 6 × 10-6 | צריכת חשמל מרבית (W) | ≤1100 |
מקסימום. לחץ מתמשך-ואקום קדמי (Pa) | 100 | דגם בקר | FD-III |
מקסימום. לחץ ואקום קדמי | N2: 300 | משקל (ק"ג) | 130 |